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微納加工三個主流技術

點擊量：1609 日期：2022-04-01 編輯：硅時代

微納加工技術是當今時代最重要的技術之一，歷史雖然不長，但發(fā)展迅速。從實際應用來看，主要可分為兩大類，硅基微機械加工技術和非硅基微機械加工技術。
硅基微機械加工技術以體硅微機械加工、表面微機械加工和復合微機械加工三種為主。非硅基微機械加工技術包括有LIGA加工技術、激光微機械加工技術、深等離子體刻蝕技術以及紫外線厚膠刻蝕技術。

隨著MEMS加工設備的協(xié)同發(fā)展，目前復合微機械加工技術、LIGA加工技術和激光微機械加工技術可以說是MEMS加工的三個主流技術。

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