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微流控芯片的制作技術(二）
2023-08-28

（2）熱壓法熱壓法（hot embossing）是一種應用較廣泛的快速復制電泳微通道的芯片制作技術，適用于PMMA與PC等熱塑性聚合物材料。熱壓法的模具...
點膠工藝如何不溢膠？
2023-08-28

點膠工藝如何不溢膠？要避免點膠過程中的膠水溢出，可以采取以下措施： 1. 控制點膠壓力調(diào)整點膠設備的壓力，確保膠水以適當?shù)膲毫α鞒?。過高的壓力...
MEMS技術的加工工藝
2023-08-25

（二）硅表面微機械加工技術美國加州大學Berkeley分校的Sensor and Actuator小組首先完成了三層多晶硅表面微機械加工工藝，確立了硅表面微加工工藝...
刻蝕偏差（Etch Bias）
2023-08-22

刻蝕偏差是指刻蝕以后線寬或關鍵尺寸間距的變化（見圖1）。它通常是由于橫向鉆刻引起的（見圖2），但也能由刻蝕剖面引起。當刻蝕中要去除掩模下過量的...
微流控芯片的制作技術（一）
2023-08-22

（1）光刻和刻蝕技術傳統(tǒng)的用于制作半導體及集成電路芯片的光刻和刻蝕技術，是微流控芯片加工工藝中最基礎的。它是用光膠、掩膜和紫外光進行微細加工...
傳感器的功能
2023-08-21

通常將傳感器的功能與人類的五大感覺器官相比擬：光敏傳感器——視覺聲敏傳感器——聽覺氣敏傳感器——嗅覺化學傳感器——味覺壓敏、溫敏、流體傳...